ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

耐酸薬品対応　片面研磨装置

• 酸系スラリーを使用する材料（SiC、GaN、GaAs）の片面研磨が可能です。
• 定盤冷却機能を有します
• 高速回転仕様（トップ･･･

サファイヤ、SiC等の加工に最適！ウェーハ片面研磨加工装置

• トップリング軸強制駆動付
• トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能で･･･

大口径、量産化対応ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高効率にポリシングする機械です。
☆φ８インチウェー･･･

高集積化対応ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高能率にポリシングする装置です。
☆φ８インチウェーハの高･･･

酸化物対応　高精度、高速片面ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着した酸化物等を高能率に高精度に研磨する機械です。
☆φ３インチ～φ４インチウェ･･･

高精度、高速片面ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したワークを高能率に高精度に研磨する機械です。
☆φ２インチ～φ４インチのワークが加工可能･･･

化合物半導体ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精･･･