ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

大型量産化対応ラッピングマシン

☆大型のワーク（液晶、ガラス基盤）に対応し、高精度且つ高能率にラッピングする装置です。
☆定盤直径は最大φ３０００ｍｍまで対応しています
☆荷･･･

大型量産化対応ラッピングマシン

☆１２インチウェーハ対応　１バッチ２０枚の処理が可能。
☆下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能です。･･･

大型量産化対応ラッピングマシン

☆８インチウェーハの量産化に対応した装置で、１バッチ３５枚の処理が可能です。
☆従来比１０％アップの荷重により、高能率化が計れます。

☆標準仕様

無加圧方式／デジタル式５段減圧
下定盤上下動機構
上定盤落下防止機構（セフティーロックシリンダ式）
ステンレス製サン・インターナルギア
５･･･

φ８インチ対応高精度ラッピングマシン

☆上・下定盤が反対方向に回転し、挟まれたキャリアは自転しながら下定盤の回転方向に公転します。従って加工物には４方向の運動が与えられ、両面を同時に等量ずつラップす･･･

定盤大きさ
USP-20B　φ1364×φ448×50ｔ (㎜)

最大加工物径
USP-20B　φ410  (㎜)

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☆標準仕様
リニア減圧式圧力制御装置
下定盤上下動機構
上定盤落下防止機構（セフティーロックシリンダ式）
操作部タッチパネル仕様

☆特･･･

定盤大きさ
USP-15B    φ1022×φ346×50ｔ (㎜)

最大加工物径
USP-15B    φ310  (㎜)

薄物加工対応両面ラッピングマシン

☆ワーク形状に適したキャリア回転比（４モーター標準仕様
☆加工条件のメモリー化
☆コンパクト設計により省スペース化
☆安定した荷･･･

定盤大きさ
USP-6B　φ470×φ230×25ｔ(㎜)
USP-9B　φ640×φ240×30ｔ(㎜)
USP-12B　φ772×φ260×40ｔ(㎜)