ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

Siウェーハ用　全自動ウェーハ剥離収納機

• 研磨後のウェーハをセラミックプレートから剥離し、カセットに自動収納する装置です
• ウェーハ剥離位置の位置決め、剥離、収納を全て全･･･

研磨ウェーハ剥離収納装置

☆プレート上に接着されたウェーハをポリシング後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納します
☆プレート上の･･･