ポリシングラッピング研磨接着装置マシン

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DMS-23

Siウェーハ用　全自動ウェーハ剥離収納機

研磨後のウェーハをセラミックプレートから剥離し、カセットに自動収納する装置です
ウェーハ剥離位置の位置決め、剥離、収納を全て全自動で行います

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