LSP-19A
サファイヤ、SiC等の加工に最適！ウェーハ片面研磨加工装置
- トップリング軸強制駆動付
- トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能です。
- 研磨荷重は精密エア加圧方式
LSP-19A
サファイヤ、SiC等の加工に最適！ウェーハ片面研磨加工装置
