ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

不二越機械工業

製品情報

LSP-19A

サファイヤ、SiC等の加工に最適!ウェーハ片面研磨加工装置

 

  • トップリング軸強制駆動付
  • トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能です。
  • 研磨荷重は精密エア加圧方式