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SPM-14A
酸化物対応 高精度、高速片面ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着した酸化物等を高能率に高精度に研磨する機械です。 ☆φ3インチ~φ4インチウェーハ専用です。 ☆研磨荷重はエアー加圧方式採用により任意にコントロール可能です。 ☆ターンテーブルは0~60rpmまで無段階に変速可能で、クッションスタートを装備しているので、ウェーハにダメージを与えません。
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