ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

大口径、量産化対応ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高効率にポリシングする機械です。
☆φ８インチウェーハの高精度・高能率ポリシング専用機です。
☆ターンテーブルは０～５０rpmまで無段階にダイヤルひとつで変速可能でかつ、クッションスタート装置を装備してありますのでウェーハにダメージを与える事はありません。
☆研磨荷重は、デットウェイト方式の為４軸間の荷重変動がありません。
☆ベースプレートは本体フレーム前面一ケ所より搬入・搬出・脱着ができる為、作業者の動作範囲も小さく、かつ装置スペースをおさえることができます。
☆搬出アームを取り付けることにより、ベースプレートの自動搬出ができ、自動化対応の推進も可能となります。