ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

サファイヤ、SiC、化合物半導体への最適！

• ウェーハの片面をダイヤラップ加工する装置です
• トップリング軸強制駆動付
• トップリングバックエア機構により、･･･

サファイヤ・SiC加工への最適化
高精度定盤フェージング装置と、エア加圧方式のトップリングを標準装備

☆トップリングの強制駆動、振･･･

化合物半導体ウェーハ用片面ラッピングマシン

☆化合物半導体ウェーハを高精度にラッピングする装置です
☆デッドウェイト方式の為、安定･･･

• ワークの強制回転機能付き
• ワークの揺動機能付き

研究開発用小型片面ラッピングマシン

☆定盤は１０～１００rpmまで無段階にダイヤル一つで変速可能です
☆デッドウェイト方式の為、荷･･･

セラミック、フェライト等のポリッシングに定盤修正装置を付けて、高精度を保つラッピングマシーン

定盤大きさ
900×3･･･