ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

不二越機械工業

製品情報

SLM-285

化合物半導体ウェーハ用片面ラッピングマシン

 

☆化合物半導体ウェーハを高精度にラッピングする装置です
☆デッドウェイト方式の為、安定したラッピングが可能です
☆修正シリンダ内に加工物を設置する為、常に安定した定盤形状が維持できます

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