ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

サファイヤ・SiC加工への最適化
高精度定盤フェージング装置と、エア加圧方式のトップリングを標準装備

☆トップリングの強制駆動、振動機能に加え、コンディショニングをインプロセス化することで、研磨条件を安定化します
☆高精度フェージング装置により定盤制度を10μm以下に維持、容易に修正することが可能です。また、溝入れ加工も可能です（オプション）
☆トップリング中押し機構（オプション）により、セラミックプレート内のウェーハの形状コントロールが可能です
☆コンディショニング専用ステーションを設け、インプロセスでのコンディショニングが可能です