ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

大型量産化対応ポリシングマシン

☆１２インチウェーハ対応　１バッチ２０枚の処理が可能。
☆下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能です。･･･

定盤大きさ
USP-20B　φ1364×φ448×40ｔ (㎜)

最大加工物径
USP-20B　φ410  (㎜)

 ･･･

☆標準仕様
リニア減圧式圧力制御装置
下定盤上下動機構
上定盤落下防止機構（セフティーロックシリンダ式）
操作部タッチパネル仕様

☆特･･･