ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

大型量産化対応ポリシングマシン

☆１２インチウェーハ対応　１バッチ２０枚の処理が可能。
☆下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能です。
☆無段変速装置で加工物に適した回転数が選べます。
☆上定盤吊り具にスプリング機構（特許）を設けることで着盤時のショックを和らげると共に、荷重をなめらかに伝達できます。