ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

不二越機械工業

製品情報

SLM-140H

研究開発用 高速回転 研磨装置

 

●定盤の高速回転が可能で、最高1000[rpm]に対応しています。
●研磨方式は、1定盤1ヘッドで最大4インチのウェーハ加工が可能です。
●研磨荷重方向(垂直)と水平方向、それぞれにロードセルが設置されており、研磨中の摩擦係数のモニタリングが可能です。
●各種センサによるモニタリング機能とデータのロギング機能を搭載しております。