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SLM-140H
研究開発用 高速回転 研磨装置
●定盤の高速回転が可能で、最高1000[rpm]に対応しています。 ●研磨方式は、1定盤1ヘッドで最大4インチのウェーハ加工が可能です。 ●研磨荷重方向(垂直)と水平方向、それぞれにロードセルが設置されており、研磨中の摩擦係数のモニタリングが可能です。 ●各種センサによるモニタリング機能とデータのロギング機能を搭載しております。