ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

カセットより取り出したウェーハを高精度にワックスを塗布しプレートに貼り付ける装置です。

☆ワックス塗布部にレスポンスの良いサーボモータを装備。高精度にワックス厚をコントロール可能。

☆ウェーハマウント部は、微細な位置決めが可能。

☆プレート洗浄機（オプション）とドッキングすることにより、パーティクルの影響を受けることなく高精度接着が可能。

☆デマウント装置とドッキング仕様も可能で、前自動化が可能。