ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

精密工学会北陸信越支部　技術賞受賞

パッド表面性状測定器

パッドの状態を非破壊測定、定量評価

☆パッド表面に特殊プリズムを押し付けることによって得られる「接触画像」を元に、パッドの状態を接触点の個数、面積、分散度など複数のパラメータで評価する測定器です
☆パッドを研磨時に近い状態で測定できるので、パッドの状態を正確に評価することができます

特徴
特殊加工を施したダブプリズムを用いた画像取得方法（特許出願中）と専用画像解析ソフトウェアを採用したことで従来方式にない優れた特徴を有しています
☆コントラストの高い良質な接触画像を取得できます
☆広いエリア（６×８mm）の測定ができます
☆オンマシン（非破壊）での測定ができます
☆得られた接触画像から接触点の個数、面積、分散度などの値を自動計算・出力します
☆操作が簡単で安価な測定システムです