|
USP-44B
大型量産化対応ラッピングマシン ☆大型のワーク(液晶、ガラス基盤)に対応し、高精度且つ高能率にラッピングする装置です。 ☆定盤直径は最大φ3000mmまで対応しています ☆荷・・・
|
|
USP-32B
大型量産化対応ラッピングマシン ☆12インチウェーハ対応 1バッチ20枚の処理が可能。 ☆下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能です。・・・
|
|
USP-30B
大型量産化対応ラッピングマシン ☆8インチウェーハの量産化に対応した装置で、1バッチ35枚の処理が可能です。 ☆従来比10%アップの荷重により、高能率化が計れます。
|
|
USP-24B
☆標準仕様 無加圧方式/デジタル式5段減圧 下定盤上下動機構 上定盤落下防止機構(セフティーロックシリンダ式) ステンレス製サン・インターナルギア 5・・・
|
|
USP-22B
φ8インチ対応高精度ラッピングマシン ☆上・下定盤が反対方向に回転し、挟まれたキャリアは自転しながら下定盤の回転方向に公転します。従って加工物には4方向の運動が与えられ、両面を同時に等量ずつラップす・・・
|
|
USP-20B
定盤大きさ USP-20B φ1364×φ448×50t (㎜) 最大加工物径 USP-20B φ410 (㎜)  ・・・
|
|
USP-16B
☆標準仕様 リニア減圧式圧力制御装置 下定盤上下動機構 上定盤落下防止機構(セフティーロックシリンダ式) 操作部タッチパネル仕様 ☆特・・・
|
|
USP-15B
定盤大きさ USP-15B φ1022×φ346×50t (㎜) 最大加工物径 USP-15B φ310 (㎜)
|
|
USP-9BⅣ
薄物加工対応両面ラッピングマシン ☆ワーク形状に適したキャリア回転比(4モーター標準仕様 ☆加工条件のメモリー化 ☆コンパクト設計により省スペース化 ☆安定した荷・・・
|
|
USP-6B / USP-9B / USP-12B
定盤大きさ USP-6B φ470×φ230×25t(㎜) USP-9B φ640×φ240×30t(㎜) USP-12B φ772×φ260×40t(㎜)
|