ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

研究開発用 高速回転 研磨装置

●定盤の高速回転が可能で、最高1000[rpm]に対応しています。
●研磨方式は、１定盤１ヘッドで最大4インチのウェーハ加工が可能です。
●研磨荷重方向（垂直）と水平方向、それぞれにロードセルが設置されており、研磨中の摩擦係数のモニタリングが可能です。
●各種センサによるモニタリング機能とデータのロギング機能を搭載しております。