当社では主力製品の半導体製造装置に組み込まれる部品を、大物から小物まで社内加工をしているセクションがあります。この部門では超精密平坦加工の設備とノウハウを有しており、工作機械業界から多数の加工依頼を頂いております。
ステンレス、鉄、鋳物など最大φ3,300mmまでの平坦研削、旋削加工が可能であり、φ2,000mmで±5ミクロン以内の平坦度を実現しています。加工物や加工精度に関する質問やご相談は下記リンクより承っております。お気軽にお問い合わせください。
| 機械名 | メーカー | テーブル | 特徴 | 詳細 |
|---|---|---|---|---|
| ＳＨＲ－１６０ | 住友重機械 | φ１６００ | 横軸・ロータリー研削盤 | |
| ＳＨＲ－２５０ | 住友重機械 | φ２５００ | 横軸・ロータリー研削盤（2台所有） |
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| SGS-85SLD2-Neo3 | ナガセインテグレックス | ８００×５００ | 平面研削盤 | |
| ＯＭＥＧＡ－３０００ | オーエム製作所 | φ３０００ | 立旋盤 |
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| ＮＥＯ－２０ | オーエム製作所 | φ２０００ | 立旋盤 | |
| ＮＥＯ－１６ | オーエム製作所 | φ１６００ | 立旋盤 | |
| ＴＮ－１０Ｍ | オーエム製作所 | φ１０００ | 立旋盤 | |
| Ｖ４０Ｒ | オークマ | φ４００ | 立旋盤 手締めチャック | |
| Ｖ６０Ｒ | オークマ | φ６００ | 立旋盤 手締めチャック | |
| Ｖ１００Ｒ | オークマ | φ１０００ | 立旋盤 手締めチャック | |
| ＴＵＥ－１５ | 東芝機械 | φ１５００ | 立旋盤 | |
| ＴＳＳ－２５／４０ | 東芝機械 | φ２５００ | 立旋盤 |
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| ＭＰＦ－３１４０ | 東芝機械 | ２５００×４０００ | マシニング |
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| ＶＳ－１０００ | 森精機 | １０００×２０００ | マシニング | |
| ＮＶ５０００ | 森精機 | ５５０×１１００ | マシニング | |
| ＮＶ４０００ | 森精機 | ４００×６００ | マシニング | |
| ＭＩＬＬＡＣ－６１１ | オークマ | ６１０×１２００ | マシニング | |
| ＳＶＲ－１３０ | 住友重機械 | φ１３００ | 縦軸・ロータリー研削盤 チタン・サファイア専用砥石有り 真空吸着加工可能 |
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| ＳＶＲ－Ｆ７０ | 住友重機械 | φ７００ | 縦軸・ロータリー研削盤（２台所有） チタン・サファイア専用砥石有り 真空吸着加工可能 |
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| ＧＳＲ－７００ | 三栄エンジニアリング | φ７００ | 縦軸・ロータリー研削盤（４台所有） チタン・サファイア専用砥石有り 真空吸着加工可能 |
ＳＨＲ－２５０
| 仕様 | |
|---|---|
| 機械名 | ＳＨＲ－２５０ |
| メーカー | 住友重機械 |
| テーブル | φ２５００ |
テーブル径φ２５００の超精密平坦加工用横軸研削盤です。
住友重機械工業にて、超精密平面研削用に門型構造に設計変更した１号機です。
弊社では２台保有しており、他にφ１６００の同型機があります。
平坦度は、φ２，０００からφ５００までの平坦に対して５ミクロン以内の加工が可能です。
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ＭＰＦ－３１４０
| 仕様 | |
|---|---|
| 機械名 | ＭＰＦ－３１４０ |
| メーカー | 東芝機械 |
| テーブル | ２５００×４０００ |
テーブルが２５００×４０００の門型マシニングセンターです。 |
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