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2014.08.05

ニュース

非接触・非破壊厚み測定器 SS-OCT

非接触・非破壊厚み測定器に新製品「SS-OCT」を開発いたしました。
(SS-OCT:SweptSource Optical Coherence Tomography)

 

SS-OCTの特徴は、従来OCT-nanoに比べ高速・高精度の厚み測定を可能にいたしました。
また、アプリケーションにより「2D測定」での「多層厚み測定」も可能になりました。
注)赤外光、レーザー光が透過し、表裏の干渉が条件です。

 

被測定可能物:シリコンウェハ、サファイヤ、ガラス系、レンズ系、単層・多層フィルム
ペットボトル(注)、樹脂系(注)

 

※ご不明な点などございましたら何なりとお問い合わせください。