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WCL-200
高性能ウェーハ収納装置 ☆テーブル上に載置されたウェーハを自動的にカセットに収納する装置です ☆φ8”のウェーハが使用できます
LWLM
ラップウェーハのカセット収納を自動化 ☆ラップ後のウェーハを定位置にセットすることにより、自動的に下部へのウェーハより一枚ずつカセットへ収納します ☆LW...
LDU
ポリシングマシンへのプレート搬入・排出の自動化対応装置 ☆ポリシング装置へのプレート搬入・排出を容易に自動化可能です ☆プレートストッカーを使用することに...
CL
研削・面取り後のウェーハ:カセット収納装置 ☆研削・面取り加工後のウェーハを、カセットに自動的に収納します ☆カセットはウェーハ収納毎に、水中にセットダウ...