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RDP-500
研究開発・小ロット生産用 片面研磨装置
☆各部の仕様を最適化したことにより、高性能と低価格の両立を実現しました。
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MCP-302
高精度、省スペース型、枚葉式自動片面ポリシングマシン
☆本装置はφ300mmウェーハを高精度に能率よくポリシングす...
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MCP-200
高精度枚葉研磨装置
☆本機はφ8インチシリコンウェーハ等の半導体を、特殊な研磨材を使用して高精度に能率よく研磨する...
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MCP-150X
高精度枚葉自動ポリシングマシン
☆本機は、カセットからウェーハを取り出してポリシング加工を行い、ウェーハを別のカセットに収...
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LPM-500
液晶パネル用高能率ポリシングマシン
☆本機は、液晶用硝子板を研磨剤を使用して、高精度に能率よく研磨する機械です。
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EMP-300
高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン
☆5枚/バッチの一括搬送による業界初の搬送効率を実現。
☆作業プ...
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APM-100
薄膜磁性材料用高精度 片面自動ポリシングマシン
☆本機は、カセットtoカセット式で全自動で研磨を行います。
☆...
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APD-800
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