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SMP-12A
耐酸薬品対応 片面研磨装置
- 酸系スラリーを使用する材料(SiC、GaN、GaAs)の片面研磨が可能です。
- 定盤冷却機能を有します
- 高速回転仕様(トップリング・定盤 Ma...
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LSP-19A
サファイヤ、SiC等の加工に最適!ウェーハ片面研磨加工装置
- トップリング軸強制駆動付
- トップリングバックエア機構により、セラミックプレート内のウェーハ形状の制御が可能です。
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SPM-23
大口径、量産化対応ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高効率にポリシングする機械で...
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SPM-19
高集積化対応ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高能率にポリシングする装置です。<...
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SPM-14A
酸化物対応 高精度、高速片面ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着した酸化物等を高能率に高精度に研磨する機械です。
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SPM-12A
高精度、高速片面ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着したワークを高能率に高精度に研磨する機械です。
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SPM-11
化合物半導体ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高効率にポリシングす...
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