ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

SPM-33

φ１２インチ量産化対応　片面ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポ...

SPM-19

高集積化対応ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度かつ高能率にポリシングする装置です。<...

SPM-12A

高精度、高速片面ポリシングマシン

☆ベースプレートに装着したワークを高能率に高精度に研磨する機械です。
☆&p...

ASPM

φ３６０プレートまでのポリッシングが全て自動的に進行される画期的なポリッシングマシンです。

●プレートのローディングおよびアンロ...