|
USP-32BP
大型量産化対応ポリシングマシン
☆12インチウェーハ対応 1バッチ20枚の処理が可能。
☆下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能です。
☆無段変...
|
|
USP-20BP
定盤大きさ
USP-20B φ1364×φ448×40t (㎜)
最大加工物径
USP-20B φ410&nb...
|
|
USP-16BP
☆標準仕様
リニア減圧式圧力制御装置
下定盤上下動機構
上定盤落下防止機構(セフティーロックシリンダ式)
操作部タッチパネル仕様
☆特別仕様
|
|
USP-9BP
|
|
LPD-300
省スペース、高能率両面ポリシングマシン
☆φ12インチ、φ8インチウェーハの高集積対応、小型・省スペース型...
|
|
LPD-150X
両面研磨機
☆薄いワークの両面を同時にポリシング(研磨)する機械です。
☆クランク機構により小円運動をするキャ...
|
|
LPD-150
両面研磨機
☆薄いワークの両面を同時にポリシング(研磨)する機械です。
☆クランク機構により小円運動をするキャ...
|
|
DPM-20B
高精度化対応シリコンウェーハ両面ポリシングマシン
☆上定盤とした定盤が互いに反対方向に回転し、上下定盤にはさまれたキャリア...
|