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SCMM-23
カセットより取り出したウェーハをスピン方式でワックスを塗布しプレートに貼り付ける装置です。
SCMM-19 サファイア
カセットより取り出したサファイアウェーハをスピン方式でワックスを塗布しプレートに貼り付ける装置です。 プレート洗浄機など関連装置とのユニット化で自動化・ライン化を実現します。
SCMM-19
カセットより取り出したウェーハをスピン方式でワックスを塗布しプレートに貼り付ける装置です。 ☆省スペース化 従来機当社比約50%削減の設置面積 ...