ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン

高性能ウェーハ収納装置

☆テーブル上に載置されたウェーハを自動的にカセットに収納する装置です
☆φ８”のウェーハが使用できます
☆ウェーハをテーブルからカセットに収納するまでを自動で処理しますので、作業者の負担が少なくてすみ、また、安全、確実にウェーハをカセットに収納できます
☆カセットへのウェーハ収納位置は、任意に設定できます
☆ロボットの駆動に用いるボールねじには定発塵用潤滑剤を使用しており、クリーンルーム内で使用することができます
☆塗装及びエッヂ部は低反射防止対策が施されており、暗室で使用することができます