ポリシング ラッピング 研磨 接着 装置 マシン
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USP-30B
大型量産化対応ラッピングマシン
☆8インチウェーハの量産化に対応した装置で、1バッチ35枚の処理が可能です。
☆従来比10%アップの荷重により、高能率化が計れます。
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