SRPM-19A
サファイヤ、ＳｉＣ等の加工へ最適
エア加圧方式のトップリング、トップリング軸強制駆動を標準装備
☆本装置は、ウェーハの片面をポリシングする装置です。
☆トップリング中押し機構（オプション）により、セラミックプレート内のウェーハの形状のコントロールが可能です。
☆研磨荷重は精密エア加圧方式。トップリングは軸強制駆動方式。
☆定盤冷却機構を装備。
☆クロス表面高圧水ブラシ洗浄機構（オプション）
エア加圧方式のトップリング、トップリング軸強制駆動を標準装備
☆本装置は、ウェーハの片面をポリシングする装置です。
☆トップリング中押し機構（オプション）により、セラミックプレート内のウェーハの形状のコントロールが可能です。
☆研磨荷重は精密エア加圧方式。トップリングは軸強制駆動方式。
☆定盤冷却機構を装備。
☆クロス表面高圧水ブラシ洗浄機構（オプション）
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