SRLM-19A
サファイヤ・SiC等の加工へ最適化
エア加圧方式のトップリング、トップリング軸強制駆動を標準装備
☆トップリング中押し機構（オプション）により、セラミックプレート内のウェーハの形状のコントロールが可能です
☆研磨荷重は精密エア加圧方式
☆定盤冷却機構
エア加圧方式のトップリング、トップリング軸強制駆動を標準装備
☆トップリング中押し機構（オプション）により、セラミックプレート内のウェーハの形状のコントロールが可能です
☆研磨荷重は精密エア加圧方式
☆定盤冷却機構
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