SPM-33
φ１２インチ量産化対応 片面ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリシングする装置です。
☆φ１２インチ量産化、φ８インチ高精度化対応の装置です。
☆操作・表示計を前面パネルに配し、作業性の向上が配慮されています。
☆研磨荷重は、デットウェイト方式採用の為、４軸間の荷重変動が少なく安定的な加工が可能です。
☆ベースプレートの搬入・搬出用に専用搬送装置を付加することにより、自動化し易い構造となっています。
☆ターンテーブルは０～４５rpmまで無段階に設定可能です。
☆ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリシングする装置です。
☆φ１２インチ量産化、φ８インチ高精度化対応の装置です。
☆操作・表示計を前面パネルに配し、作業性の向上が配慮されています。
☆研磨荷重は、デットウェイト方式採用の為、４軸間の荷重変動が少なく安定的な加工が可能です。
☆ベースプレートの搬入・搬出用に専用搬送装置を付加することにより、自動化し易い構造となっています。
☆ターンテーブルは０～４５rpmまで無段階に設定可能です。
