SPM-14A
酸化物対応 高精度、高速片面ポリシングマシン
☆ベースプレートに装着した酸化物等を高能率に高精度に研磨する機械です。
☆φ３インチ～φ４インチウェーハ専用です。
☆研磨荷重はエアー加圧方式採用により任意にコントロール可能です。
☆ターンテーブルは０～６０rpmまで無段階に変速可能で、クッションスタートを装備しているので、ウェーハにダメージを与えません。
☆ベースプレートに装着した酸化物等を高能率に高精度に研磨する機械です。
☆φ３インチ～φ４インチウェーハ専用です。
☆研磨荷重はエアー加圧方式採用により任意にコントロール可能です。
☆ターンテーブルは０～６０rpmまで無段階に変速可能で、クッションスタートを装備しているので、ウェーハにダメージを与えません。
