PWDS
研磨ウェーハ剥離収納装置
☆プレート上に接着されたウェーハをポリシング後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納します
☆プレート上のウェーハをナイフ等で剥ぎ取りますとウェーハはシュータを滑り落ちて自動的にカセットに収納されます
☆シューターは角度がつけてあり、水流にてウェーハを運ぶためウェーハとシューターの間には水の皮膜が出来るため、搬送時の傷ができません
☆ウェーハがカセットに挿入する部分は水中にあるため、水の皮膜によりスリ傷がほとんど発生しません
☆プレート上に接着されたウェーハをポリシング後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納します
☆プレート上のウェーハをナイフ等で剥ぎ取りますとウェーハはシュータを滑り落ちて自動的にカセットに収納されます
☆シューターは角度がつけてあり、水流にてウェーハを運ぶためウェーハとシューターの間には水の皮膜が出来るため、搬送時の傷ができません
☆ウェーハがカセットに挿入する部分は水中にあるため、水の皮膜によりスリ傷がほとんど発生しません
