SCMM-19
カセットより取り出したウェーハをスピン方式でワックスを塗布しプレートに貼り付ける装置です。
☆省スペース化
従来機当社比約５０％削減の設置面積
☆高スピード化
ウェーハ搬送にダブルハンドロボットを採用
☆高精度化
ウェーハスピン部にサーボモーター、接着プレス部にサーボモーターとエアーバックを採用し、微細な位置決めとスピードコントロールを実現
☆省スペース化
従来機当社比約５０％削減の設置面積
☆高スピード化
ウェーハ搬送にダブルハンドロボットを採用
☆高精度化
ウェーハスピン部にサーボモーター、接着プレス部にサーボモーターとエアーバックを採用し、微細な位置決めとスピードコントロールを実現
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