MCP-150X
高精度枚葉自動ポリシングマシン
☆本機は、カセットからウェーハを取り出してポリシング加工を行い、ウェーハを別のカセットに収納するまでの動作を全て自動化しております。
☆定盤は適量の冷却水により冷却でき、加工熱の制御が一定化できます。
☆ヘッド部はエアー加圧方式で、圧を精密に設定できます。
☆加工後のウェーハは、ウォーターシューターによって水中のカセットに保管されます。従って、ウェーハは水の膜で保護されている為、傷等を付けずに搬送でき、また、高品質かつ安全に保管することができます。
☆本機は、カセットからウェーハを取り出してポリシング加工を行い、ウェーハを別のカセットに収納するまでの動作を全て自動化しております。
☆定盤は適量の冷却水により冷却でき、加工熱の制御が一定化できます。
☆ヘッド部はエアー加圧方式で、圧を精密に設定できます。
☆加工後のウェーハは、ウォーターシューターによって水中のカセットに保管されます。従って、ウェーハは水の膜で保護されている為、傷等を付けずに搬送でき、また、高品質かつ安全に保管することができます。
