LWLM
ラップウェーハのカセット収納を自動化
☆ラップ後のウェーハを定位置にセットすることにより、自動的に下部へのウェーハより一枚ずつカセットへ収納します
☆LWLM１台でラップ機２台に十分対応できます
☆ウェーハの乾燥防止の為、シャワーリング、ウォーターシャワー及びピットを装備しています
☆カセット上下動にはバススルーモーターを使用している為、正確な位置決めが出来る様になっています
☆モードスイッチにより後工程への搬送の場合に用いているIDディスク等を収納するスペースを選択できる様になっています（０～２枚）
☆ラップ後のウェーハを定位置にセットすることにより、自動的に下部へのウェーハより一枚ずつカセットへ収納します
☆LWLM１台でラップ機２台に十分対応できます
☆ウェーハの乾燥防止の為、シャワーリング、ウォーターシャワー及びピットを装備しています
☆カセット上下動にはバススルーモーターを使用している為、正確な位置決めが出来る様になっています
☆モードスイッチにより後工程への搬送の場合に用いているIDディスク等を収納するスペースを選択できる様になっています（０～２枚）
