LPD-150X
両面研磨機
☆薄いワークの両面を同時にポリシング（研磨）する機械です。
☆クランク機構により小円運動をするキャリアでウェーハの平面的な動きを強制し、それをお互いに逆方向に回転する上定盤と下定盤の間に挟み、流動砥流による鏡面研磨を行います。
☆φ６インチウェーハの両面研磨。
☆上下定盤は冷却可能です。
☆薄いワークの両面を同時にポリシング（研磨）する機械です。
☆クランク機構により小円運動をするキャリアでウェーハの平面的な動きを強制し、それをお互いに逆方向に回転する上定盤と下定盤の間に挟み、流動砥流による鏡面研磨を行います。
☆φ６インチウェーハの両面研磨。
☆上下定盤は冷却可能です。
