ガラスディスク用枚葉式チャンファポリッシャー
本装置は、水中保管のカセットから、ガラスディスク基板を内径チャック方式にて取り出し、ディスクの内外周部を鏡面面取り加工後、ディスクを水中カセットに収納します。
☆高精度・高品質化の実現===円筒バフ研磨方式による新しいチャンファポリッシュ(特許申請中)
☆自動化・高能率化の実現===カセットto カセットの自動加工。枚葉式による内外径同時ポリッシュ。
☆省スペースの実現===同一マシンで内外径加工が可能。コンパクト設計。(W1.5×D1.3×H2.2m)