CL
研削・面取り後のウェーハ：カセット収納装置
☆研削・面取り加工後のウェーハを、カセットに自動的に収納します
☆カセットはウェーハ収納毎に、水中にセットダウンされる為、ウェーハ表面を常にウェット状態に保持します
☆研削・面取り加工後のウェーハを、カセットに自動的に収納します
☆カセットはウェーハ収納毎に、水中にセットダウンされる為、ウェーハ表面を常にウェット状態に保持します
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